每日經(jīng)濟新聞 2025-04-22 12:23:19
每經(jīng)AI快訊，4月22日，上海新陽在互動平臺上表示，公司主要開發(fā)括I線、KrF、ArF在內(nèi)的各類晶圓制造用光刻膠，已實現(xiàn)KrF光刻膠多款產(chǎn)品批量化銷售，2024年光刻膠產(chǎn)品整體銷售規(guī)模持續(xù)增加，同比增長超100%，ArF浸沒式光刻膠已取得銷售訂單，邁出了實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的第一步。
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